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单片湿法制程设备

单片兆声清洗机

特点:

掩膜版清洗机是一台整机主要由设备外壳、清洗工位、排风系统、电控系统等组成。包含腐蚀清洗腔控制单元、药液供给与补充系统、药液排放与回收系统、电机控制器等单元;机台具有运行、工艺参数设置、维护及报警查询等功能,能显示当前的工艺程序号、工艺步骤、当前旋转速度、清洗时间等参数;系统还具有报警信息、维护信息等系统记录;设备台面右侧配置水、氮***功等辅助功能;

清洗能力: 8(12)inch   1 cassette / Batch     25 Pcs/cassette;

产能要求: 湿法制程清洗工艺XXXX  Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小时/天,26天/月计算,预估值);


产品详情

产品详情:

全中文操作界面,人工手动将掩膜版安放至腐蚀清洗腔旋转主轴支架(5寸7寸兼容)卡盘上,工艺时间为15 min /批或30min/批,工艺时间可调;

确认防护隔离门及设备操作门到位后启动起始按钮,执行设定好的操作流程,清洗臂A旋转搬运至掩膜版正上方后(与清洗腔内下方的喷管同步完成或独立完成动作)执行设定动作;首先喷洒酸液(时间可设定,扫描路径可设定),再喷洒碱液(时间可设定,扫描路径可设定),再喷洒DI(时间可设定,扫描路径可设定),清洗臂A根据工艺流程回旋至原点位置等待;

刷洗臂B随即旋转搬运至掩膜版正上方后(与清洗腔内下方的喷管同步完成或独立完成动作)开始刷洗动作(时间可设定,扫描路径可设定),完成设定动作后恢复至原点位置等待;

N2喷淋管启动同时配合腐蚀清洗腔旋转主轴高速旋转完成干燥工艺步骤;

全部清洗工艺动作完成后旋转主轴停机等待并报警提示;

规格特点:

项目

说明

机台型号

CGB-MC-XX;

机台重量

XX;

清洗能力

5   inch  7 inch  标准掩膜版(光刻版/光罩);

处理方式

单片处理   人工手动取放片;

设备形式

室内放置型(洁净度:千级洁净室)

机台封面、主要结构材质

聚丙烯磁白PP 10T;

机台视窗

材质

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T;

左右推拉式;

机台主机强度结构

整体SUS304不锈钢结构骨架;

防漏盘

材质

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分体式  每侧尺寸比设备本体长50mm;

其它

水平调整

通过地脚调整设备水平;

设备移动

设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

台面板结构

¢12mm左右洞洞结构   PP板材;

漏液检测装置

防腐材质;单点式;

模式

可拆式;

排风系统

排风口位置

设备后顶部;

排风通道结构

排风强劲合理设计,为了排风效果达到最佳,排风通道内设有风量导流板;

为了方便操作人员根据情况及时调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到最佳使用效果;

设备排风通道的底部带排液管,冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内并排放至机台后方厂务废水专用管道内;

功能

可以将清洗工艺过程中产生的气体、气味排走。

机台的电控系统

安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方,操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置:分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师,不可混用权限;