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槽式湿法制程设备

全自动槽式超薄片清洗机

特点:

生产主线为:腐蚀槽1、冲水槽2、轻刻槽3、冲水槽4、上下料台,共4个清洗工位。右进右出设备。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(触摸屏)加PLC控制的全自动控制系统,操作者只须将清洗花篮放置于上下料工位上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。

清洗能力:6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette;

圆片厚度范围:6寸:150微米-300微米;8寸:150微米-300微米;




产品详情

产品详情:

项目

说明

机台型号

CGB-WBXX-XXXX;

机台数量

1台(套);

机台重量

XX;

清洗能力(采购方提供cassette样品)

6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette; 片盒采购方提供;

圆片厚度范围

6寸:150微米-300微米;8寸:150微米-300微米;

片架

6寸8寸为25片标准片架,8吋卡塞型号:192A型;

功能

本设备为全新设备,用于6吋和8吋超薄片硅腐蚀、HF处理、纯水冲水;

产能要求

湿法制程清洗工艺XXXX    Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小时/天,26天/月计算,预估值);

设备形式(洁净度:千级洁净室)

室内放置型   ;

机台封面、主要结构材质

聚丙烯磁白PP ();

阻燃聚丙烯PP();

阻燃米黄色聚氯乙烯PVC(√);

SUS304单镜面板材(); 

机台视窗

材质

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC (√);

SUS304单镜面板材及钢化玻璃()   ;

模式

上下举升式();

单(双)门对开式();

左右推拉式(√);

机台主机强度结构

碳钢结构骨架;

防漏盘

材质

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分体式  每侧尺寸比设备本体长50mm;

漏液检测装置

材质

防腐材质;

点式

单点式;

其它

水平调整

通过地脚调整设备水平;

设备移动

设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

台面板

材质

¢12mm左右洞洞结构   聚丙烯磁白PP板材();

¢12mm左右洞洞结构   阻燃聚丙烯PP板材();

¢12mm左右洞洞结构   阻燃米黄色聚氯乙烯PVC板材(√);

相邻槽之间须有接水板,接水板须倾斜放置,用以盛接花篮经过时漏液();

¢12mm左右洞洞结构   SUS304单镜面板材();

模式

可拆式(√);

一体式();

排风系统

排风口位置

设备后顶部(√);

设备后下部();

设备后部();

排风通道结构

1.排风强劲合理设计,为了排风效果达到更佳,排风通道内设有风量导流板;

2.为了方便操作人员根据情况及时调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到更佳使用效果;

2.设备排风通道的底部带排液管,冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内;

机台的电控系统

安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方,操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置:分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师,不可混用权限;

工艺记录储存类型

工业条码枪+PLC+触摸屏

使用程序时刷条码确认程序,完成生产工艺中参数及工艺步骤等详细记录存储,便于采购方对生产产品品质管控; 程序运行记录可定时存储,存储数据类型参考如下:程序号、操作者、槽体温度、设定时间、运行时间、报警信息等(待定)。

规格特点:
01)工艺说明: 自动传动,自动方式实现槽体间传送工件,手臂按照菜单选择流程作业,生产部人员选取菜单进行作业,这个过程全自动进行;
02)全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;
03)搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;
04)搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全;
05)溢流工艺的应用,保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度;

06)工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;多工艺数据库,可供用户使用和存储;

07)整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等;

08)整机采用PLC控制,触摸屏显示,清洗槽定温控制,过温保护及超(兆)声低液位保护;

09)整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便;

10)整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;

11)机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮,设备两端各一个),并按照标准设置接地保护断路器;

12)整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,最低处设有漏液报警,前后区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;

13)清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;

14)设计合理化的排风管路,使酸碱液挥发气体的污染小化;

15)设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部;

16)工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式,需采用四面溢流;如果无法实现,至少需要三面溢流;

17)软件具有防呆功能;

18)搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置(光电传感器、机械传感器、机械装置等),以保护操作人员安全;

19) 设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口;

20) 机台上下料区配水***2把;

21) 机台排风口处安装排风压力监测装置(带信号报警装置);

22) 机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);

23) 工艺槽槽底倾斜式,便于排空;

24) Cassette transfer time < 5sec;

25) 机台电器部分具备正压N2保护,防止腐蚀;

26)具有作业记录功能,可以 USB 接口 U 盘调取,配置摄像头,并配置硬盘用于视频保存,视频保留时间不少于 30 天;

27)两个药业槽工艺时间到后有声光提示;

28)机台地脚做防腐处理:1.喷防腐漆,2.增加PP防护盒;

29)供液系统人工换桶时防止废液回流,加装收集桶;

30)机台具备漏液监测功能,如发生漏液报警时自动关闭排液功能;

31) Cassette搬运使用工装方式;