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槽式湿法制程设备

全自動12インチ研磨洗浄機

特徴:

メイン生産ライン:H2O超音波水槽1、界面活性剤槽2、H2O超音波水槽3、界面活性剤槽4、H2O超音波水槽5、HCL槽6、H2O超音波水槽7,計7つフローです。本設備電気コントロール部分の肝心な部品は上質な輸入品を採用し、性能が良く、使用寿命が長い。裏面に吸気口を設置します。空気汚染を防止するため、ユーザーが排気パイプを外付けする必要があります。本設備はタッチパネル及びPLCコントロールの全自動コントロールシステムです。作業者は洗浄カセットをインローダに置いて、PLCがコントロールするロボットアームでカセットを各位置に搬送し、事前にインストールしたプログラムにてwaferの各プロセス処理を実施します。

产品详情


製品詳細:

項目

説明

設備数量

1台(セット);

設備重量

XX;

洗浄能力(ユーザーがカセットサンプルを提供する

12inch;2カセット/バッチ13Pcs/カセット

生産能力要求

/

設備型式(清浄度クラス1000級

室内置き型;

設備カバー、主要構造の材質

ポリプロピレン   PP();

難燃性ポリプロピレンPP();

アイボリーポリ塩化ビニルPVC(√);

SUS304単鏡面板材();

設備窓

材質

透明、静電防止ポリ塩化ビニルPVC(√);

モード

左右引き戸式(√);

設備本体強度構造

全体は炭素鋼、ステンレス構造骨組(40*4040*80);

漏水防止トレイ

材質

ポリプロピレンPP板材;

モード

分割式、各辺サイズは設備本体より50mm長い

液漏れ検出装置

材質

腐食防止材質;

ポイント式

シングルポイント式;

その他

水平調整

設備アンカーで設備水平度を調整;

設備移動

設備移動用のため、設備に樹脂車輪を取付け

ステージ板

材質

約¢12mm、穴抜き構造、アイボリーポリ塩化ビニルPVC(√)

隣接槽の間で水受け板が必要。水受け板は斜めに置き、カセットが通過時に漏れた液を受け取る役割(√);

排気システム

排気口位置

設備背面上部(√);

排気経路構造

1)排気強さを合理的に設計、排気効果がベストとなる風量とするため、排気経路中にダンパーを設置
  2)
操作者は小範囲で設備排気バックプレーン上の取外し式(生成可能な結晶を清掃し易くするため)排気フェンスを調整し、設備窓上部の調整可能の吸気モジュールを使用して配合調整することで、効果がベストとなる
  3)
設備排気経路の底部に排液パイプがある。凝縮還流の廃液をパイプを通して、設備U型ウェットエリアに排出し、QDR排出した廃水と混合希釈し、設備後の工場廃水専用パイプに排出する

設備の電気コントールシステム

設備の後に取付;タッチパネル及び電源スイッチ照明等は設備の正面に取付

プロセス記録保存形式

PLC+タッチパネル簡易

生産プロセス中のパラメータ及びプロセスフローなどの詳細記録の保存を可能とすることで、ユーザーは生産製品の品質を管理し易く;プログラム実行記録は定期的に保存可能、保存データの形式は以下を参照プログラム番号操作者槽内温度設定時間実行時間エラー情報など未定)。PLC或いはタッチパネルにUSBインターフェースがあるため、プログラムの実行記録を読取可





規格特徴:

01)プロセス説明:自動搬送、自槽の間で自動的に製品を搬送実現。ロボットアームがレシピにてフロー選択して作業する。生産部門の作業者はレシピを選択して作業実施。それ以降は全自動で実施;
02)全工程で自動化コントロールし、作業中は人の干渉がなく、製品性能の均一性を保証する;
03)
搬送ロボットアームの横移動と上下移動は全て日本のサーボモータを使用し、クローズループ制御、位置決め精度≤1mm、信頼性が高い;

04)搬送ロボットアームが単独で異常停止、一時ストップスイッチ、システム異常停止スイッチとロボットアームモータの自動過負荷保護等の多重保護があるため、作業者の安全を確保する
05)
オーバーフロープロセスの応用で、薬液層の間の隔離効果と洗浄の高清浄度を保証する

06)プロセス変更に対しては、柔軟性が高く容易で速い多数のプロセスデータベースはユーザーによって使用と保存される

07)設備全体は使用運転中、安定、かつ安全で、異物を発生しない、油漏れもない。潤滑必要な部品は密封処理必要

08)設備全体はPLCでコントロール、タッチパネルで表示、洗浄定温でコントロール、加熱保護及び超音波液面レベル保護

09)設備全体は全密封設計を採用設備運転ピークの騒音が小さく、且つ操作、メンテナンスし易い

10)設備全体は酸溶液とアルカリ溶液及び揮発気体による腐食を抑えられるので、電気部品は正常に安全使用可能

11)設備に緊急停止回路(EMO異常停止ボタンは設備の両側にそれぞれ1つずつを設置し、標準にてアース保護遮断器を設置する

12)設備全体は前後エリアを隔離し、底板は傾斜設計とし、液排出し易い。一番低い所に液漏れアラームを設置する。前後エリアにそれぞれにウォーターガンを設置することで、液漏れの場合直ちに洗浄できる

13)洗浄槽体及び配管に明確な標識或いはミス防止の表示があることで、溶剤誤混入防止ができる

14)合理的に排気パイプを設計することで、酸溶液とアルカリ溶液の揮発気体の汚染が最小化できる

15)設備内部の水パイプエアパイプのレイアウトは全て設備本体内部にある

16)プロセスオーバーフロー槽体は全て外槽独立オーバーフロー方式がある。四面オーバーフローを採用もし実現できない場合、少なくとも三面オーバーフローを採用

17)設備背面左右両側にメンテナンスし易いウィンドウを設置する必要

18)設備イン・アンローダにそれぞれ水***2本を設置する必要

19)設備排気口に排気圧力モニター装置を取付け信号アラーム装置付き);

20)設備総吸気口に(N2或いはCDA)圧力モニター装置を取付信号アラーム装置付き);
21)プロセス槽の槽底は傾斜式で、空にし易い;
22)設備電気部分に正圧N2保護を設置し、腐食防止を行う;