星期二,2017年10月24
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晶圆电镀设备
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设备名称:镀镍金台
清洗能力:清洗能力:4 inch,4 cassette / Batch,25 Pcs/cassette;
产能要求:湿法制程显影清洗工艺30万  Pcs /月(按照XXmin/Run,100PCS/Run,21小时/天,28天/月计算,预估值);
设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;顶部及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。控制方式:人机界面(触摸屏)加PLC控制的半自动控制系统
机台结构:主材质为台湾SILSON品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm),台面为可拆式¢10mm左右洞洞结构,机台视窗使用台湾SILSON品牌透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度5mm);机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。


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