星期一,2017年10月23
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晶圆电镀设备
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设备名称:晶圆镀铜锡清洗设备
工作规格:6”、8”兼容,4片/批
产能:2片/夹具,760片/月(22H/D,26D/M)
节拍:100min、批,0-999MIN可调
沉积速率:0.1-1.5μm/MIN,单种金属沉积厚度≤100μm
镀层均匀性:圆片匀胶的均匀性≤6%,镀层厚度均匀性在±10%以内,为了避免累加误差,检测验收时需要在匀胶基础上进行镀层厚度均匀性测量;

各个工艺槽横向排为一行:

工艺槽药液槽体材质槽参考尺寸主要工艺温度进液方式排液方式
槽1XX10mm德国simona-NPP板焊接槽400*200*400mm浸泡RT手动自动、手动控制,废液排入厂务管道
槽2DIW10mm德国simona-NPP板焊接槽400*200*400mmQDR水洗RT气动阀控制自动、气动阀控制,分回收和废酸两路重力排放
槽3、槽4XX10mm德国simona-NPP板焊接槽内槽400*450*400XXRT-80℃ 手动排放
外槽480*650*400
槽5DIW10mm德国simona-NPP板焊接槽400*200*400mmQDR水洗RT气动阀控制自动、气动阀控制,分回收和废酸两路重力排放
槽6、槽7XX10mm德国simona-NPP板焊接槽内槽400*450*400XXRT-80℃气动阀控制自动、气动阀控制,分回收和废酸两路重力排放
外槽480*650*400
槽8DIW10mm德国simona-NPP板焊接槽400*200*400mmQDR水洗RT气动阀控制自动、气动阀控制,分回收和废酸两路重力排放
电镀槽配置说明:
恒温装置:槽内配置PFA换热器,得用厂务PCW进行药液换热,确保槽内药液温度恒温;
摆动功能:电镀槽阴极配装搅拌装置,采用减速机实现前后30mm晃动,15-60次/MIN速度可调,有效预防硅片静止电镀不均匀情况;
电镀方式:侧面喷涌式电镀;
循环过滤:槽体配一套循环系统,采用进口PP隔膜泵循环,配10寸PP过滤器,过滤精度0.45微米,可定期更换滤芯,过滤药液中有机物,延长药液使用寿命,药液循环采用密闭压力舱分散涌流方式,将药液通过阳极钛网喷涌到晶圆表面,以达到晶圆表面接触的药液一直处于浓度均匀状态,进而保证镀层厚度均匀性
流量监测:槽体配置带流量显示功能PFA流量计
恒温系统:槽体内部四周盘管,外部配置一台恒温机可以制冷,温控范围10-25±2℃可调
阳极:采用220*220*20mm钛篮,可承装1-2KG重量铜饼或≤”15mm直径铜球,放入槽体时外套装PP阳极袋,确保无杂质污染药液

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