星期二,2017年10月24
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半导体材料
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设备名称:蓝宝石晶体回料高温蚀刻清洗台
主要用途:机台位于长晶后处理厂房内(室内放置型)进料端为十万级;
        出料端为千级,其主要功能是对破碎后的晶体进行表面清洗;
适用对象:形状不规则块料,块料:60mm*60mm*60mm(L*W*H),
        碎料:最小为10-15mm;3-10 KG/ Batch(预估);  
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;

  

项目

                                                                              数     据

适用对象

形状不规则块料

块料:60mm*60mm*60mm(L*W*H)
碎料:最小为10-15mm;

3-10 KG/ Batch(预估); 

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)

控制模式

手动控制模式、自动控制模式

选配模块

※  CGB专有技术快速降温置换药液,热酸排放制程1-2小时左右完成;
※  尾气 Scrubber系统;
※  更全面的全自动烘干系统;
※  可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※ 全程自动控制,工艺生产过程中不用人工干预,保证产品性能的一致性;
※ 采用CGB专利技术红外加热,保证快速升温及温度均匀性;
※ 工作温度区间介于280至300℃,温度误差要求±1℃,温度精度误差要求±0.1℃,加热模组可加热至600℃;
※ QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定;
※ 完善的抽风系统,独立化的高温槽酸排风装置,安全预置系统保证设备安全可靠;
※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修
便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※ 全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳,机械臂定位精度高;
※ 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

机械臂装置

Robot的工艺路径种类:N种(设备出厂前载入PLC内);

机械手传送定位精度:≤0.3mm;

机械手传动预估速度:垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移动速度不小于6000mm/min;

机械臂走向:‘右进左出’或‘左进右出’;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

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