星期二,2017年10月24
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半导体材料
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设备名称:衬底基片蚀刻清洗台
适用产业:半导体照明(LED)--衬底工艺段

项目

                                                                                 数      据

适用对象

蓝宝石晶片2-12inch,25 Pcs/cassette,1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch;

砷化镓晶片2-12inch,25 Pcs/cassette,1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch;

碳化硅晶片2-8inch,25 Pcs/cassette,1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch;

其它衬底晶片

制程应用

※  切割后制程; ※  磨边后制程; ※  研磨后制程(单面、双面); ※  激光刻字后制程;
※  抛光后制程(单面、双面);※  清洗制程; 

控制模式

 手动控制,自动控制;

基本规格

设备形式

室内放置型

洁净度:

Class 10 or 1000

温度:

23±1°C

湿度:

53±5%

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)     Or    China  SUS板材(厚度≧2mm);

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理              Or    China  SUS矩形材(厚度≧2mm);

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)  Or    China  钢化玻璃(厚度≧5mm);

防震装置

有,需安装防震支架或防震脚垫;

分体式防漏盘

有,聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm);

选配模块

※  腐蚀液恒温系统;※  腐蚀液循环过滤系统;※  超(兆)声系统;※  全自动供液系统;※  消防系统;
※  更全面的全自动烘干系统; ※  可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※  蚀刻工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※  QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定;
※  集成自动烘干系统;
※  管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修
便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※  全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳,机械臂定位精度高;
※  多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※  客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

机械臂装置

Robot的工艺路径种类

N种(设备出厂前载入PLC内);

机械手传送定位精度

≤0.3mm

机械手传动预估速度

垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移动速度不小于6000mm/min;

机械臂走向

前后位移一对一;
转向、前后、左右、上下位移一对四;
全程转向左右、前后、上下位移一对多槽等;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

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