设备名称:全自动下蜡后清洗台
适应产业:半导体照明(LED)--减薄工艺段;
制程应用:去蜡清洗制程;
适用对象:蓝宝石晶片、砷化镓晶片、碳化硅晶片;
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;
项目 | 数 据 |
适用对象 | 蓝宝石晶片 | 2-8inch | 25 Pcs/cassette | 1 cassette/ Batch Or 2 cassette/ Batch; |
砷化镓晶片 | 2-6inch | 25 Pcs/cassette | 1 cassette/ Batch Or 2 cassette/ Batch; |
碳化硅晶片 | 2-8inch | 25 Pcs/cassette | 1 cassette/ Batch Or 2 cassette/ Batch; |
基本规格 | 机台封面 | 聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm) Or China SUS板材(厚度≧2mm) |
机台主机强度结构 | 整体骨架表面喷涂处理 Or China SUS矩形材(厚度≧2mm) |
机台视窗 | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or China 钢化玻璃(厚度≧5mm) |
选配模块 | ※ 蚀刻液恒温系统; ※ 蚀刻液循环过滤系统; ※ 超(兆)声系统; ※ 集成自动烘干系统; ※ 消防系统; ※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理; |
机台特点 | ※ 全程自动控制,工艺生产过程中不用人工干预,保证产品性能的一致性; ※ 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储; ※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修 便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量; ※ 全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳,机械臂定位精度高; ※ 作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全; ※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要; |
机械臂装置 | Robot的工艺路径种类 | N种(设备出厂前载入PLC内); |
机械手传送定位精度 | ≤0.3mm |
机械手传动预估速度 | 垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移动速度不小于6000mm/min; |
机械臂走向 | ‘右进左出’或‘左进右出’; |
制程控制 | PLC控制方式; |
操作界面 | 全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏); |
槽体数量 | 根据制程工艺要求选择定制; |
设备制造 | 北京华林嘉业科技有限公司(CGB); |