项目

数     据

适用对象

蓝宝石晶片

2-8inch

25 Pcs/cassette

1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch；

砷化镓晶片

2-6inch

25 Pcs/cassette

1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch；

碳化硅晶片

2-8inch

25 Pcs/cassette

1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch；

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)     Or    China  SUS板材(厚度≧2mm)

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理              Or    China  SUS矩形材(厚度≧2mm)

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)   Or China  钢化玻璃(厚度≧5mm)

选配模块

※  蚀刻液恒温系统；
※  蚀刻液循环过滤系统；
※  超（兆）声系统；
※  集成自动烘干系统；
※  消防系统；
※  可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理；

机台特点

※  全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性；
※  多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储；
※  管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，维护保修
便利，非期货库存品工厂内均建立安全存量；
※  全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳，机械臂定位精度高；
※  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全；
※  客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要；

机械臂装置

Robot的工艺路径种类

N种（设备出厂前载入PLC内）；

机械手传送定位精度

≤0.3mm

机械手传动预估速度

垂直升降速度不小于4000mm/min，水平移动速度不小于6000mm/min；

机械臂走向

‘右进左出’或‘左进右出’；

制程控制

PLC控制方式；

操作界面

全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）；

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制；

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司（CGB）；