星期二,2017年10月24
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半导体材料
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设备名称:外延石英钟罩清洗机
适用对象:适用于LPE外延炉PE2061(S)、PE3061、ASM E2000
                    AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**
                    五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗;
                    9010mm*1170mm,1 件/ Batch;
                    471mm*155mm,1 件/ Batch;
                    1200mm* Φ417mm,1 件/ Batch;
                    900mm石英件,1 件/ Batch;
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;

 

 

项目

                                                                            数        据

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm); 

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理 ;           

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)   ;

选配模块

※  蚀刻液恒温系统;
※  蚀刻液循环过滤系统;
※  二流体喷淋系统(CGB专利技术);
※  全自动烘干系统;
※  可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※  全程自动控制,工艺生产过程中不用人工干预,保证产品性能的一致性;
※  采用CGB专利技术,钟罩静止等待,通过二流体及喷淋助力装置完成均匀蚀刻清洗;
※  更全面的全自动烘干系统;
※  多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※  客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

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