星期二,2017年10月24
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半导体材料
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设备名称:全自动卧式炉管清洗机
主要用途:本设备为浸泡式清洗机,用于扩散、外延等设备的
                    石英管,碳化硅管的清洗;
控制模式:手动控制模式、半自动控制模式、自动控制模式

 

项   目

 数       据

适用对象

石英(炉)管

¢≤480mm *L≤3500mm

1件/ Batch;

基本规格

设备形式:室内放置型

温度:23±1°C

湿度:53±5%

机台封面:聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm);

机台主机强度结构:整体骨架表面喷涂处理;

机台视窗:透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm);

防震装置:有,需安装防震支架或防震脚垫;

分体式防漏盘有,聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm);:

选配模块

※  全自动供液系统;
※  蚀刻液恒温系统;
※  二流体内部喷流蚀刻、清洗系统;
※  烘干系统;
※  循环多重过滤系统;
※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※ 设备药液的添加均通过自动供液系统统一补给;
※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修
便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※ 系统单元高稳定、高定位、高可调性;
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;
※ 位于设备外部的化学品管路管材须用双套管,双套管管材采用PFA外包硬透明PVC,设备内部化学品管路采用
PFA单层管;

机械臂装置

Robot的工艺路径种类

N种(设备出厂前载入PLC内);

机械手传送定位精度

≤0.3mm;

机械手传动预估速度

垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移动速度不小于6000mm/min;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

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