星期二,2017年10月24
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晶体硅电池及辅助设备
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设备名称:全自动去磷硅玻璃(PSG)清洗机
主要用途:用于太阳能电池生产线上硅片扩散后去磷硅玻璃的清洗处理;是一条集清洗,腐蚀,干燥为一体的全自动综合清洗工艺生产线;
适用对象为125*125,156*156兼容,≥1600片/小时,200Pcs/ Batch(预估);
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;

 

项目

数     据

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)

选配模块

※ 全自动供液系统;
※ 采用纯水隔离式或风帘隔离式可选;
※ 更全面的全自动烘干系统;
※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※ 全程自动控制,工艺生产过程中不用人工干预,保证产品性能的一致性;
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※ 更全面的全自动烘干系统;
※ QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定;
※ 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※ 采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;
※ 位于设备外部的化学品管路管材须用双套管,双套管管材采用PFA外包硬透明PVC,设备内部化学品管路采用
PFA单层管;
※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修
便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

机械臂装置

Robot的工艺路径种类

N种(设备出厂前载入PLC内);

机械手传送定位精度

≤0.3mm

机械手传动预估速度

垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移动速度不小于6000mm/min;

机械臂走向

‘右进左出’或‘左进右出’;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

 

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