星期二,2017年10月24
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液晶湿法制程设备
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设备名称:液晶玻璃槽式蚀刻薄化机(双面)
主要用途:本套设备位于TFT-LCD液晶处理厂房内(洁净室为千级室内放置型),其主要是通过清洗方法清洗出来的玻璃基板清洗后表面与平逢没有水渍与污染物,玻璃基板表面没有灰尘、残留物、玻璃碎片、油污等;并可以提高生产效率,更适合于量产;
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;

 

项目

 数     据

适用对象

玻璃基板

≤730*920mm

25Pcs/批,62.5KG/篮,150KG/篮(设计标准); 

技术参数

蚀刻前厚度尺寸

0.3-1.2mm (CF+TFT);

蚀刻后厚度尺寸

0.15-0.6mm(CF+TFT);

蚀刻温度预估值

RT--65℃±1℃;

漂洗温度预估值

RT--60℃±2℃;

控制模式

手动控制模式         自动控制模式

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)

选配模块

※ 世界最先进的玻璃泥CGB专有分离系统;
※ 蚀刻液在线恒温系统;
※ 蚀刻液在线分析检测系统;
※ 全自动供液系统;
※ 全自动配液补液系统;
※ 蚀刻液多重循环回收再利用系统;
※ DIW回收再利用系统等;
※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※ 全程自动控制,工艺生产过程中不用人工干预,保证产品性能的一致性;
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※ 可根据需要定时补充槽体药液和置换药液;
※ QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定;
※ 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

机械臂装置

Robot的工艺路径种类

N种(设备出厂前载入PLC内);

机械臂走向

‘右进左出’或‘左进右出’;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);


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