设备名称:液晶玻璃槽式薄化后清洗机
主要用途:本套设备位于TFT-LCD液晶处理厂房内(洁净室为千级室内放置型),其主要功能是通过化学方法即化学蚀刻,该方法蚀刻出来的玻璃基板能达到厚度均匀、表面效果良好的要求,并可以提高生产效率,更适合于量产;
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;
项目 | 数 据 |
适用对象 | 玻璃基板 | ≤730*920mm | 25Pcs/批,62.5KG/篮,150KG/篮(设计标准); |
介质 | KOH或NAOH或清洗剂、HOT DIW、HOT N2; |
技术参数 | 清洗温度 :RT--50℃±2°C; |
漂洗温度 :40--50℃±3°C; |
干燥温度:RT--60℃±3°C; |
控制模式 | 手动控制模式 自动控制模式 |
基本规格 | 机台封面 | 聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm) OrChina SUS板材(厚度≧2mm) |
机台主机强度结构 | 整体骨架表面喷涂处理 Or China SUS矩形材(厚度≧2mm) |
机台视窗 | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or China 钢化玻璃(厚度≧5mm) |
选配模块 | ※ 采用纯水隔离式或风帘隔离式可选; ※ 清洗液在线分析检测系统; ※ 全自动配液补液系统; ※ DIW回收再利用系统等; ※ 更全面的全自动烘干系统; ※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理; |
机台特点 | ※ 玻璃基板清洗后表面与平逢不得有水渍与污染物,清洗玻璃表面不能有灰尘、残留物、玻璃碎片、油污; ※ 全程自动控制,工艺生产过程中不用人工干预,保证产品性能的一致性; ※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性; ※ 可根据需要定时补充槽体药液和置换药液; ※ QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定; ※ 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储; ※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修 便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量; ※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全; ※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要; |
机械臂装置 | Robot的工艺路径种类 | N种(设备出厂前载入PLC内); |
机械臂走向 | ‘右进左出’或‘左进右出’; |
制程控制 | PLC控制方式; |
操作界面 | 全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏); |
槽体数量 | 根据制程工艺要求选择定制; |
设备制造 | 北京华林嘉业科技有限公司(CGB); |