项目

数     据

适用对象

玻璃基板

≤730*920mm

25Pcs/批，62.5KG/篮，150KG/篮（设计标准）； 

介质

KOH或NAOH或清洗剂、HOT DIW、HOT N2；

技术参数

清洗温度 ：RT--50℃±2°C；

漂洗温度 ：40--50℃±3°C；

干燥温度：RT--60℃±3°C；

控制模式

手动控制模式        自动控制模式

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm) OrChina  SUS板材(厚度≧2mm)

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理  Or  China  SUS矩形材(厚度≧2mm)

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or  China  钢化玻璃(厚度≧5mm)

选配模块

※ 采用纯水隔离式或风帘隔离式可选；
※ 清洗液在线分析检测系统；
※ 全自动配液补液系统；
※ DIW回收再利用系统等；
※ 更全面的全自动烘干系统；
※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理；

机台特点

※ 玻璃基板清洗后表面与平逢不得有水渍与污染物，清洗玻璃表面不能有灰尘、残留物、玻璃碎片、油污；
※ 全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性；
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；
※ 可根据需要定时补充槽体药液和置换药液；
※ QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定；
※ 多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储；
※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，维护保修
便利，非期货库存品工厂内均建立安全存量；
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全；
※ 客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要；

机械臂装置

Robot的工艺路径种类

N种（设备出厂前载入PLC内）；

机械臂走向

‘右进左出’或‘左进右出’；

制程控制

PLC控制方式；

操作界面

全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）；

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制；

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司（CGB）；