星期二,2017年10月24
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液晶湿法制程设备
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设备名称:液晶玻璃槽式薄化后清洗机
主要用途:本套设备位于TFT-LCD液晶处理厂房内(洁净室为千级室内放置型),其主要功能是通过化学方法即化学蚀刻,该方法蚀刻出来的玻璃基板能达到厚度均匀、表面效果良好的要求,并可以提高生产效率,更适合于量产;
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;

 

项目

数     据

适用对象

玻璃基板

≤730*920mm

25Pcs/批,62.5KG/篮,150KG/篮(设计标准); 

介质

KOH或NAOH或清洗剂、HOT DIW、HOT N2;

技术参数

清洗温度 :RT--50℃±2°C;

漂洗温度 :40--50℃±3°C;

干燥温度:RT--60℃±3°C;

控制模式

手动控制模式        自动控制模式

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm) OrChina  SUS板材(厚度≧2mm)

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理  Or  China  SUS矩形材(厚度≧2mm)

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or  China  钢化玻璃(厚度≧5mm)

选配模块

※ 采用纯水隔离式或风帘隔离式可选;
※ 清洗液在线分析检测系统;
※ 全自动配液补液系统;
※ DIW回收再利用系统等;
※ 更全面的全自动烘干系统;
※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※ 玻璃基板清洗后表面与平逢不得有水渍与污染物,清洗玻璃表面不能有灰尘、残留物、玻璃碎片、油污;
※ 全程自动控制,工艺生产过程中不用人工干预,保证产品性能的一致性;
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※ 可根据需要定时补充槽体药液和置换药液;
※ QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定;
※ 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修
便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

机械臂装置

Robot的工艺路径种类

N种(设备出厂前载入PLC内);

机械臂走向

‘右进左出’或‘左进右出’;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

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