星期二,2017年10月24
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辅助设备
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设备名称:自动供液系统(CDS)
主要用途:本设备主要用于湿法蚀刻清洗等制程工序需要使用的蚀刻液集中进行配送,经管道送至设备;具有自动化程度高、配比精确、操作简便等特点,而且具有良好的耐腐蚀性能;
适用化学品:氢氟酸(HF),硝酸(HNO3),双氧水(H2O2),氢氧化钾(KOH),氨水(NH4OH),氢氧化钠(NaOH),盐酸(HCL),硫酸(H2SO4),异丙醇(IPA)等;
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;

 

     项   目

数       据

控制模式

手动控制模式         自动控制模式

基本规格

设备形式:室内放置型

温度:23±1°C

湿度:53±5%

机台封面:聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm) Or China  SUS板材(厚度≧2mm);

机台主机强度结构:整体骨架表面喷涂处理   Or China  SUS矩形材(厚度≧2mm);

机台视窗:透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) Or China  钢化玻璃(厚度≧5mm);

选配模块

※ 一用一备双桶式或单桶式;
※ 具备循环、过滤功能,可根据客户的工艺选配多组过滤、循环系统;
※ 当其中一支桶内的液体用完时,能够自动进行不间断双桶切换;
※ 具备化学液的取样检测功能;
※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※ 化学品集中及持续不间断供应,多点分配;
※ 设有防气泡装置,防止因气泡影响配液精度;
※ 可同时放置两个20L/50L/200L等标准化学品储液桶;
※ 化学品最大输送流量:≤60L/min;
※ 定时补充药液或定量补充药液,参数均可在触摸屏上设定;
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);


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