星期二,2017年10月24
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半导体材料
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设备名称:PSS衬底(SPM)清洗机
产能要求: GaN工艺 150000片/月和PSS工艺 105000片/月,共计255000片/月(设计机台GaN工艺和PSS工艺各有1道,按照25分钟/run,50片/run。产能共计270000片/月,按照22小时/天,26天/月计算)满足要求 ;

 

项目

                                                                              数     据

适用对象

2inch芯片    2 cassette / Batch,25 Pcs/cassette;     4inch芯片   1 cassette / Batch,25 Pcs/cassette;

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)

控制模式

手动控制模式、自动控制模式

选配模块

※  尾气 Scrubber系统;
※  更全面的全自动烘干系统;
※  可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※ 全程自动控制,工艺生产过程中不用人工干预,保证产品性能的一致性;
※ QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定;
※ 完善的抽风系统,独立化的高温槽酸排风装置,安全预置系统保证设备安全可靠;
※ 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修
便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※ 全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳,机械臂定位精度高;
※ 多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

机械臂装置

Robot的工艺路径种类:N种(设备出厂前载入PLC内);

机械手传送定位精度:≤0.3mm;

机械手传动预估速度:垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移动速度不小于6000mm/min;

机械臂走向:‘右进左出’或‘左进右出’;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

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