星期二,2017年10月24
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辅助设备
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设备名称:自动片盒清洗机
适用产业:半导体照明(LED)--半导体材料、半导体分立器件、集成电
                    路、MEMS、有机发光二级管(OLED)、太阳能光伏等;
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;
制程应用:湿法清洗制程;

 

项目

                                                                             数     据

适用对象

晶片盒

2-8inch

25 Pcs/ Batch

120-200 Pcs/h;

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)     Or    China  SUS板材(厚度≧2mm);

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理              Or    China  SUS矩形材(厚度≧2mm);

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)  Or    China  钢化玻璃(厚度≧5mm);

结构构造

※  设备主体; 
※  传送系统
※  混液系统; 
※  清洗系统;
※  干燥缓冲系统;
※  排风系统;
※  电气控制系统;

整体布置

※  设备前侧上料,前侧下料;
※  本体上面装有控制面板,每个工艺过程可独立控制;
※  设备采用密封结构,配有可拆卸的活动门;
※  本体后(上)方顶部设有风道;
※  本体下方为管路区;

功能描述

设备工艺流程:上料→喷淋(表面活性剂+DIW混液)清洗→切液→喷淋DIW清洗→切液→喷HOT N2或压空→风刀→下料;

载具通过全自动滚轮向前、向后输送,在输送的过程中进行喷淋混液清洗、喷淋水洗、干燥等工艺流程;

搬送参考速度=3~6m/min(标准4m/min);

机台特点

※  清洗工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※  集成自动烘干系统;
※  管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修
便利,非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※  全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳,机械臂定位精度高;
※  多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※  客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

传送系统

工艺路径种类

N种(设备出厂前载入PLC内);

传送定位精度

≤0.3mm

※  动力:伺服电机(步进电机)+减速机;
※  各个滚轮轴采用齿轮/防腐同步带传动方式;
※  载具从滚轮轨道的上方通过,上部及下部设有混液的喷淋管道及干燥气体管道;
※  滚轮轴SUS316/NPP材质;
※  载具为SUS316材质;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);


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