星期二,2017年10月24
地址:北京通州区宋庄后夏工业区
电话:010-52112163 52112206
手机:耿彪 13910297918
传真:010-60573500
邮箱:gengbiao@cgbtek.com
辅助设备
您的位置:首页 > 产品服务 > 辅助设备

设备名称:全自动cassette清洗机
适用产业:半导体照明(LED)、半导体材料、半导体分立器件、集成电
                    路、MEMS、有机发光二级管(OLED)、太阳能光伏等;
控制模式:手动控制模式、自动控制模式;
制程应用:湿法清洗制程;

 

项目

                                                                             数     据

适用对象

cassette

2-12inch

2-4 Pcs/ Batch
120-200 Pcs/h;

基本规格

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)     Or    China  SUS板材(厚度≧2mm);

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理              Or    China  SUS矩形材(厚度≧2mm);

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)  Or    China  钢化玻璃(厚度≧5mm);

选配模块

※  腐蚀液恒温系统;
※  腐蚀液循环过滤系统;
※  超(兆)声系统;
※  全自动供液系统;
※  更全面的全自动烘干系统;
※  消防系统;
※  可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

结构构造

※  设备主体;  
※  传送系统;
※  混液系统;             
※  清洗系统;  
※  干燥系统;
※  排风系统;
※  电气控制系统;

整体布置

※  设备左侧上料,右侧下料;
※  本体上面装有控制面板,每个工艺过程可独立控制;
※  设备采用密封结构,配有可拆卸的活动门;
※  本体后(上)方顶部设有风道;
※  本体下方为管路区;

功能描述

设备工艺流程:上料→浸泡(有机溶剂)清洗→喷淋DIW清洗→浸泡(酸液)清洗→喷淋DIW清洗→浸泡(酒精)脱水
→喷HOT N2或压空→下料;

机台特点

※  清洗工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※  QDR冲洗模块非常见排序式,可根据制程工艺设定;
※  集成自动烘干系统;
※  管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品,配置模组化,维护保修便利,
非期货库存品工厂内均建立安全存量;
※  全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳,机械臂定位精度高;
※  多级别用户工艺数据库,可供用户使用和存储;
※  作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※  客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;

传送系统

 

工艺路径种类

N种(设备出厂前载入PLC内);

传送定位精度

≤0.3mm

机械臂走向

转向、前后、左右、上下位移一对四;
全程转向左右、前后、上下位移一对多槽等;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

页面版权所有@ 北京华林嘉业科技有限公司.京ICP备09080401号.京公网安备11011202001537号