星期二,2017年10月24
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设备名称:喷淋式废气处理设备
装置是一个A B两单元模组组成的湿法化学喷淋清洗系统,此系统进行除三氯化硼、四氯化硅、氯气、氨气和硅烷(SiH 4)的及金属有机物化学物质也被分解在洗涤单元中。

 喷淋式废气处理设备
装置是一个A B两单元模组组成的湿法化学喷淋清洗系统,此系统进行除三氯化硼、四氯化硅、氯气、氨气和硅烷(SiH 4)的及金属有机物化学物质也被分解在洗涤单元中。系统主要组成单元为:WFB1   WFB2容器箱(预估90L)、液体流量计、磁力泵、喷淋装置、除雾器装置、废气应急旁通管路、活性炭过滤器等。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;顶部及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。

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