星期二,2017年10月24
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微机电系统(MEMS)
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设备名称:石英(炉)管清洗机
本设备为浸泡式清洗机,用于扩散、外延等设备的石英管,碳化硅管,SIC浆、石英舟的清洗

 

项   目

                        数       据

适用对象

石英(炉)管 / 桨/舟/支架

poly,SI3N4,SIO2

¢≤220-240mm *L≤2420mm
¢≤330mm *L≤2600mm
¢≤480mm *L≤3500mm

1件/ Batch;

设备用途

本设备为浸泡式清洗机,用于扩散、外延等设备的石英管,碳化硅管,SIC浆、石英舟的清洗;

控制模式

手动控制模式     半自动控制模式     自动控制模式

基本规格

设备形式

室内放置型

机台封面

聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm);

机台主机强度结构

整体骨架表面喷涂处理;

机台视窗

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm);

防震装置

有,需安装防震支架或防震脚垫;

分体式防漏盘

有,聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm);

选配模块

※ 炉管浸泡旋转装置;
※ 蚀刻液循环过滤系统;
※ DIW清洗时炉管内外壁高压喷淋、快排、底部注水浸泡系统;
※ DIW清洗后,N2干燥系统;
※ 漏液检测系统;
※ 水阻率监测系统;
※ 自动供给CDS (微补)系统;
※ 废液回收系统;
※ 炉管升降装置;
※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理;

机台特点

※ 设备药液的添加均通过自动供液系统统一补给;
※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合,保证操作人员作业环境及人身安全;
※ 客制化设计能力佳,高设计能力满足客户制程工艺需要;
※ 位于设备外部的化学品管路管材须用双套管,双套管管材采用PFA外包硬透明PVC,设备内部化学品管路采用PFA单层管;

制程控制

PLC控制方式;

操作界面

全图形化中文彩色人机界面(10.4彩屏);

槽体数量

根据制程工艺要求选择定制;

设备制造

北京华林嘉业科技有限公司(CGB);

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