ü薬液濃度のリアルタイム監視と効率的な回収システムを搭載し、薬液の利用率を向上させます。 

ü超音波、メガ波、タンク流場制御技術を搭載し、洗浄能力を最適化できます。 

ü柔軟な設計で、システムの自動スケジューリングとウルティステーション同時処理により、高効率な運転を実現します。 

üソフトウェアとハードウェアのインターロック安全装置、温度の自動校正と過温保護により、機器と作業者の安全を確保します。 

üワンクリックでの酸交換やAuto Pmなどの機能が機器メンテナンス効率を向上させます。 

ü複数のロボットアームシステムが「ドライイン・ドライアウト」の要求に対応し、クリーン度を向上させます。