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槽式湿法制程设备

GAN去光阻全自动清洗机

特点:
生产主线为:上料台、超声循环溢流槽1、循环溢流槽槽2、循环溢流槽槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料台,共5个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(触摸屏)加PLC控制的自动控制系统,操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。
加工对象:蓝宝石基底的GaN、砷化镓基底的AlGaInP晶片和PSS衬底;

产品详情

产品详情:

项目

说明

机台数量

1台(套);

机台重量

XX;

加工对象

蓝宝石基底的GaN、砷化镓基底的AlGaInP晶片和PSS衬底;

清洗能力(采购方提供cassette样品)

4 inch   2 cassette / Batch  25 Pcs/cassette;6 inch     1 cassette / Batch  25   Pcs/cassette;

产能要求

湿法制程清洗工艺XXXX    Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小时/天,26天/月计算,预估值);

设备形式(洁净度:千级洁净室)

室内放置型;  

机台封面、主要结构材质

聚丙烯磁白PP 10T();

阻燃聚丙烯PP 10T ();

米黄色聚氯乙烯PVC 10T ();

SUS304单镜面板材1.5T(√); 

机台视窗

材质

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T (√);

SUS304单镜面板材及钢化玻璃   5T(); 

模式

上下举升式();

左右推拉式(√);

机台主机强度结构

整体SUS304不锈钢结构骨架;

防漏盘

材质

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分体式  每侧尺寸比设备本体长50mm;

漏液检测装置

材质

防腐材质;

点式

单点式;

其它

水平调整

通过地脚调整设备水平;

设备移动

设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

台面板

材质

¢12mm左右洞洞结构   聚丙烯磁白PP板材();

¢12mm左右洞洞结构   SUS304单镜面板材(√);

相邻槽之间须有接水板,接水板须倾斜放置,用以盛接花篮经过时漏液();

模式

可拆式(√);

一体式();

排风系统

排风口位置

设备后顶部(√);

设备后下部();

设备后部();

排风通道结构

1) 排风强劲合理设计,为了排风效果达到最佳,排风通道内设有风量导流板;

2) 为了方便操作人员根据情况及时调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到最佳使用效果;

3) 设备排风通道的底部带排液管,冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内;

机台的电控系统

安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方,操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置:分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师,不可混用权限;

工艺记录储存类型

工业扫码枪+PLC+触摸屏

使用程序时刷条码确认程序,完成生产工艺中参数及工艺步骤等详细记录存储,便于采购方对生产产品品质管控; 程序运行记录可定时存储,存储数据类型参考如下:程序号、操作者、槽体温度、设定时间、运行时间、报警信息等(待定)。PLC或触摸屏具有USB接口,可读出程序运行记录;

规格特点:
01)工艺说明: 自动传动,自动方式实现槽体间传送工件,手臂按照菜单选择流程作业,生产部人员选取菜单进行作业,这个过程全自动进行; 02)全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;
03)搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;
04)搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全;
05)搬运机械手运行平稳,带有过载和过流保护,工艺槽发生异常报警需将工艺槽产品放置到溢流槽保护并立即启动报警(手臂故障需要立即发出报警并不可消除);当工装出现意外情况时程序自动将药液排空注入DIW稀释救货;

06)工艺槽设有花篮物理检测装置,防止压篮;
07)溢流工艺的应用,保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度;

08)优化配管设置,节约DIW消耗量;

09)工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;多工艺数据库,可供用户使用和存储;

10)整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等,需润滑的零件必须密封处理;

11)整机采用PLC控制,触摸屏显示,清洗槽定温控制,过温保护及超(兆)声低液位保护;

12)整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便;

13)整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;

14)机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮,设备两端各一个),并按照标准设置接地保护断路器;

15)整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,最低处设有漏液报警,前后区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;

16)清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;

17)设计合理化的排风管路,使酸碱液挥发气体的污染最小化;

18)设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部;

19)废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放;

20)设备内废气总管路可用维护区水枪清洗,清洗废液流入酸碱废液总管;

21)工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式,需采用四面溢流;如果无法实现,至少需要三面溢流;

22)搬运机械手抓驱动部分为电机马达驱动完成指定动作并配有传感器实时监测,抓取部位设有防压框传感器,检测抓取成功与否;

23)搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置(光电传感器、机械传感器、机械装置等),以保护操作人员安全;

24)工艺槽工作区域与机台控制外配有安全监测装置,防止搬运机械手对操作人员的意外损伤;

25) 设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口;

26) 机台上料下料区各配水***2把;

27)机台排风口处安装排风压力监测装置(带信号报警装置);

28)机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);

29)工艺槽槽底倾斜式,便于排空;

30)根据工艺要求选择配套UPS电源(15-20min);

31) 排风调节板根据风压可自动调节;