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槽式湿法制程设备

12吋全自动磨片清洗机

生产主线为:H2O超声槽1、界面活化剂槽2、H2O超声槽3、界面活化剂槽4、H2O超声槽5、HCL槽6、H2O超声槽7,共7个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(触摸屏)加PLC控制的全自动控制系统,操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。


产品详情

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项目

说明

机台数量

1台(套);

机台重量

XX;

清洗能力(采购方提供cassette样品)

12inch ;  2 cassette / Batch  13 Pcs/cassette;

产能要求

/

设备形式(洁净度:千级洁净室)

室内放置型;  

机台封面、主要结构材质

聚丙烯PP ();

阻燃聚丙烯PP ();

象牙白聚氯乙烯PVC (√);

SUS304单镜面板材(); 

机台视窗

材质

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC (√);

模式

左右推拉式(√);

机台主机强度结构

整体碳钢、不锈钢结构骨架(40*40    40*80);

防漏盘

材质

聚丙烯PP板材;

模式

分体式  每侧尺寸比设备本体长50mm;

漏液检测装置

材质

防腐材质;

点式

单点式;

其它

水平调整

通过地脚调整设备水平;

设备移动

设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

台面板

材质

¢12mm左右洞洞结构   象牙白聚氯乙烯PVC  (√);

相邻槽之间须有接水板,接水板须倾斜放置,用以盛接花篮经过时漏液(√);

排风系统

排风口位置

设备后顶部(√);

排风通道结构

1) 排风强劲合理设计,为了排风效果达到最佳,排风通道内设有风量导流板;

2) 为了方便操作人员根据情况及时调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到最佳使用效果;

3) 设备排风通道的底部带排液管,冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内;

机台的电控系统

安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。

工艺记录储存类型

PLC+触摸屏(简易)

完成生产工艺中参数及工艺步骤等详细记录存储,便于采购方对生产产品品质管控; 程序运行记录可定时存储,存储数据类型参考如下:程序号、操作者、槽体温度、设定时间、运行时间、报警信息等(待定)。PLC或触摸屏具有USB接口,可读出程序运行记录;


规格特点:
01)工艺说明: 自动传动,自动方式实现槽体间传送工件,手臂按照菜单选择流程作业,生产部人员选取菜单进行作业,这个过程全自动进行;
02)全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;
03)搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;
04)搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全;
05)溢流工艺的应用,保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度;
06)工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;多工艺数据库,可供用户使用和存储;
07)整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等,需润滑的零件必须密封处理;
08)整机采用PLC控制,触摸屏显示,清洗槽定温控制,过温保护及超(兆)声低液位保护;
09)整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便;
10)整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;
11)机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮,设备两端各一个),并按照标准设置接地保护断路器;
12)整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,最低处设有漏液报警,前后区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;
13)清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;
14)设计合理化的排风管路,使酸碱液挥发气体的污染最小化;
15)设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部;
16)工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式,需采用四面溢流;如果无法实现,至少需要三面溢流;
17)  设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口;
18)  机台上料下料区各配水***2把;
19)机台排风口处安装排风压力监测装置(带信号报警装置);
20)机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);
21)  工艺槽槽底倾斜式,便于排空;
22)机台电器部分具备正压N2保护,防止腐蚀;