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槽式湿法制程设备

全自动碳化硅外延最终清洗机

生产主线为: Load,药液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload,共X个制程工位, 设置为6” *1 cassette晶舟上货,将晶舟置于Robot上货区位置,按下『启动键』,Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程,完成设备本身设定之流程,达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是IPC工业电脑加PLC控制的全自动控制系统。

 

产品详情

 产品详情:

项目

说明

机台数量

1台(套);

机台重量

XX Kg(预估值);

清洗能力(采购方提供cassette样品)

6inch     1cassette   / Batch    25 Pcs/cassette;

产能要求

湿法制程清洗工艺XXXX  XXXPCS/ Run(按照30min/Run,50PCS/Run,22小时/天,26天/月计算,预估值);

设备形式(洁净度:千级洁净室)

室内放置型;

机台封面、主要结构材质

聚丙烯PP 10T();

阻燃聚丙烯PP10T ();

象牙色聚氯乙烯PVC 10T (√);


SUS304单镜面板材1.5T();

机台视窗

材质

透明之聚氯乙烯PVC 5T   (√);

SUS304单镜面板材及钢化玻璃5T();

模式

上下举升式();

左右推拉式(√);

机台主机强度结构

整体SUS304不锈钢/碳钢结构骨架(40*40  40*80);

防漏盘

材质

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分体式每侧尺寸比设备本体长50mm;

漏液检测装置

材质

防腐材质;

点式

单点式漏液检测sensor,管路区和防漏盘均安装漏液检测;

其它

水平调整

通过地脚调整设备水平;

设备移动

设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

台面板

材质

¢5mm左右洞洞结构(√);

¢12mm左右洞洞结构();

相邻槽之间须有接水板,接水板须倾斜放置,用以盛接花篮经过时漏液(√);

模式

可拆式(√);

一体式();

排风系统

排风口位置

设备后顶部();

设备后下部();

设备后部(√);

排风通道结构

1)排风强劲合理设计,为了排风效果达到最佳,排风通道内设有风量导流板;

2)为了方便操作人员根据情况及时调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到最佳使用效果;

3)设备排风通道的底部带排液管,冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内;

4)工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构;

机台的电控系统

安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由 PLC、IPC、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储 X 套工艺配方,操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有 3 级加密进入权限设置:分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师,不可混用权限;


规格特点

01)溢流工艺的应用,保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度;
02)优化配管设置,节约DIW消耗量;
03)工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;多工艺数据库,可供用户使用和存储;
04)整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等,需润滑的零件必须密封处理;
05)整机采用PLC控制,IPC显示,清洗槽定温控制,过温保护及超(兆)声低液位保护;
06)整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便;
07)整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;
08)机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮,设备两端各一个),并按照标准设置接地保护断路器;
09)整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,最低处设有漏液报警,前后区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;
10)清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;
11)设计合理化的排风管路,使有机液挥发气体的污染最小化;
12)设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部;
13)废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放;
14)设备内废气总管路可用维护区水枪清洗,清洗废液流入有机、酸碱废液总管;
15)工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式,需采用四面溢流;如果无法实现,至少需要三面溢流;
16)  设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口;
17)机台排风口处安装排风压力监测装置(带信号报警装置);
18)机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);
19)工艺槽槽体倾斜式,便于排空;
20)机台电器部分具备正压N2保护,防止腐蚀;
21)溢流:IDLE TIME>SET TIME,溢流停止,达到节能目的;
22)废液排放,每个工艺槽采用独立排放管道,对应QDR也采用独立排放口;
23)排风,工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构;
24)换液提醒功能,所有制程能根据配液时间或运行批次数量通知换酸;
25)工艺结束可以设置预先报警功能,预报警声音和实际报警声音要有所区分;
26)工艺说明: 自动传动,自动方式实现槽体间传送工件,手臂按照菜单选择流程作业,生产部人员选取菜单进行作业,这个过程全自动进行;
27)全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;
28)搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;
29)搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全;
30)搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置(光电传感器、机械传感器、机械装置等),以保护操作人员安全;
31)上下料方向:左进右出,花篮水平放置;
32)颗粒指标,尺寸大于XX μm的颗粒,密度不超过XX个/cm2;
33)目前金属离子残留测试,包括XX种元素:------,每一种金属元素残留指标均要求<XXcm-2。