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槽式湿法制程设备

槽式全自动清洗机

生产主线为:设置为自动晶舟上货,将晶舟置于Robot上货区位置,按下【启动键】,Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程,完成设备本身设定之流程,达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是IPC工业电脑加PLC控制的全自动控制系统。

 

产品详情

*视窗为双层设计,操作安全                                   
*设备占地面积小
*喷淋装置喷淋均匀无死角                                      
*加热材料高纯无污染,in-line加热
*有限控制金属、材料及微粒子的交叉                           
*温度自动校准
*软硬件互锁装置保证操作人员人身安全                          
*支持SMIF自动传输
*实时记录生产数据,多种数据分析功能                          
*软件支持GEM/SECS接口,提供PAP MES等功能
*工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速                           
*优化配管设置,节约DIW消耗量
*药液浓度实时监控系统                                        
*多工艺数据库,可供用户适用和储存
*槽体流场控制技术                                           
*高效药液回收系统
*Maragoni Dryer 低破片率,高洁净度                         
*较洁净药液回收利用,节约药液使用
*易燃化学品安全稳定加热系统                                 
*易燃化学品搭载消防系统及切断排风系统,符合消防安全
*自主知识产权的软件系统                                      
*系统自动排程,多工位并发处理,高效率运行
*拥有多项软件著作权                                         
*工艺预置,过程数据记录和生产管理
*PC上位机和PLC触摸屏的控制和人机交互界面