机台型号

CGB-MC-XX；

机台重量

XX；

清洗能力

5   inch  7 inch  标准掩膜版（光刻版/光罩）；

处理方式

单片处理   人工手动取放片；

设备形式

室内放置型（洁净度：千级洁净室）

机台封面、主要结构材质

聚丙烯磁白PP 10T；

机台视窗

材质

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T；

左右推拉式；

机台主机强度结构

整体SUS304不锈钢结构骨架；

防漏盘

材质

聚丙烯磁白PP板材；

模式

分体式  每侧尺寸比设备本体长50mm；

其它

水平调整

通过地脚调整设备水平；

设备移动

设备装有树脂脚轮以备设备移动之用；

台面板结构

￠12mm左右洞洞结构   PP板材；

漏液检测装置

防腐材质；单点式；

模式

可拆式；

排风系统

排风口位置

设备后顶部；

排风通道结构

排风强劲合理设计，为了排风效果达到更佳，排风通道内设有风量导流板；

为了方便操作人员根据情况及时调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到更佳使用效果；

设备排风通道的底部带排液管，冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内并排放至机台后方厂务废水专用管道内；

功能

可以将清洗工艺过程中产生的气体、气味排走。

机台的电控系统

安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方，操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置：分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师，不可混用权限；