机台型号

CGB-SSC-XX；

机台重量

XX

清洗能力（采购方提供cassette样品）

8 inch  wafer；

处理方式

单片处理   人工手动取放片，干进干出；

产能要求

湿法制程清洗工艺XXXX    Pcs /月（按照＜30min/run，50PCS/Run，22小时/天，26天/月计算，预估值）；

设备形式（洁净度：千级洁净室）

室内放置型；

机台封面、主要结构材质

聚丙烯磁白PP 10T（）；

SUS304单镜面板材1.5T（√）；

机台视窗

材质

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T （）；

SUS304单镜面板材及钢化玻璃   5T（√）； 

模式

上下举升式（）；

左右推拉式（√）；

机台主机强度结构

整体SUS304不锈钢结构骨架；

防漏盘

材质

聚丙烯磁白PP板材；

模式

分体式  每侧尺寸比设备本体长50mm；

漏液检测装置

材质

防腐材质；

点式

单点式；

其它

水平调整

通过地脚调整设备水平；

设备移动

设备装有树脂脚轮以备设备移动之用；

台面板

材质

￠12mm左右洞洞结构   聚丙烯磁白PP板材（√）；

￠12mm左右洞洞结构   SUS304单镜面板材（）；

模式

可拆式（√）；

一体式（）；

排风系统

排风口位置

设备后顶部（√）；

设备后部（）；

排风通道结构

1） 排风强劲合理设计，为了排风效果达到更佳，排风通道内设有风量导流板；

2） 为了方便操作人员根据情况及时调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到更佳使用效果；

3） 设备排风通道的底部带排液管，冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内；

机台的电控系统

安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方，操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置：分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师，不可混用权限；