槽式湿法制程设备
特点：
生产主线为：腐蚀槽1、冲水槽2、轻刻槽3、冲水槽4、上下料台，共4个清洗工位。右进右出设备。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的全自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上下料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。
清洗能力：6 inch 8inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
圆片厚度范围：6寸：150微米-300微米；8寸：150微米-300微米；
产品详情
产品详情：
项目 | 说明 | ||
机台型号 | CGB-WBXX-XXXX； | ||
机台数量 | 1台（套）； | ||
机台重量 | XX； | ||
清洗能力（采购方提供cassette样品） | 6 inch 8inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette； 片盒采购方提供； | ||
圆片厚度范围 | 6寸：150微米-300微米；8寸：150微米-300微米； | ||
片架 | 6寸8寸为25片标准片架，8吋卡塞型号：192A型； | ||
功能 | 本设备为全新设备，用于6吋和8吋超薄片硅腐蚀、HF处理、纯水冲水； | ||
产能要求 | 湿法制程清洗工艺XXXX Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小时/天，26天/月计算，预估值）； | ||
设备形式（洁净度：千级洁净室） | 室内放置型 ； | ||
机台封面、主要结构材质 | 聚丙烯磁白PP （）； | ||
阻燃聚丙烯PP（）； | |||
阻燃米黄色聚氯乙烯PVC（√）； | |||
SUS304单镜面板材（）； | |||
机台视窗 | 材质 | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC （√）； | |
SUS304单镜面板材及钢化玻璃（） ； | |||
模式 | 上下举升式（）； | ||
单（双）门对开式（）； | |||
左右推拉式（√）； | |||
机台主机强度结构 | 碳钢结构骨架； | ||
防漏盘 | 材质 | 聚丙烯磁白PP板材； | |
模式 | 分体式 每侧尺寸比设备本体长50mm； | ||
漏液检测装置 | 材质 | 防腐材质； | |
点式 | 单点式； | ||
其它 | 水平调整 | 通过地脚调整设备水平； | |
设备移动 | 设备装有树脂脚轮以备设备移动之用； | ||
台面板 | 材质 | ￠12mm左右洞洞结构 聚丙烯磁白PP板材（）； | |
￠12mm左右洞洞结构 阻燃聚丙烯PP板材（）； | |||
￠12mm左右洞洞结构 阻燃米黄色聚氯乙烯PVC板材（√）； | |||
相邻槽之间须有接水板，接水板须倾斜放置，用以盛接花篮经过时漏液（）； | |||
￠12mm左右洞洞结构 SUS304单镜面板材（）； | |||
模式 | 可拆式（√）； | ||
一体式（）； | |||
排风系统 | 排风口位置 | 设备后顶部（√）； | |
设备后下部（）； | |||
设备后部（）； | |||
排风通道结构 | 1.排风强劲合理设计，为了排风效果达到更佳，排风通道内设有风量导流板； 2.为了方便操作人员根据情况及时调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气模块使用达到更佳使用效果； 2.设备排风通道的底部带排液管，冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内； | ||
机台的电控系统 | 安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方，操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置：分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师，不可混用权限； | ||
工艺记录储存类型 | 工业条码枪+PLC+触摸屏 | 使用程序时刷条码确认程序,完成生产工艺中参数及工艺步骤等详细记录存储,便于采购方对生产产品品质管控; 程序运行记录可定时存储，存储数据类型参考如下：程序号、操作者、槽体温度、设定时间、运行时间、报警信息等（待定）。 | |
规格特点：
01）工艺说明: 自动传动，自动方式实现槽体间传送工件，手臂按照菜单选择流程作业，生产部人员选取菜单进行作业，这个过程全自动进行；
02）全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；
03）搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；
04）搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全；
05）溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；
06）工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；
07）整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等；
08）整机采用PLC控制，触摸屏显示，清洗槽定温控制，过温保护及超(兆)声低液位保护；
09）整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；
10）整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；
11）机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮，设备两端各一个），并按照标准设置接地保护断路器；
12）整机前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，最低处设有漏液报警，前后区域均设水枪，确保漏液及时冲洗；
13）清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；
14）设计合理化的排风管路，使酸碱液挥发气体的污染小化；
15）设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；
16）工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；
17）软件具有防呆功能；
18）搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置（光电传感器、机械传感器、机械装置等），以保护操作人员安全；
19) 设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；
20) 机台上下料区配水***2把；
21) 机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报警装置）；
22) 机台总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报警装置）；
23) 工艺槽槽底倾斜式，便于排空；
24) Cassette transfer time < 5sec；
25) 机台电器部分具备正压N2保护，防止腐蚀；
26）具有作业记录功能，可以 USB 接口 U 盘调取，配置摄像头，并配置硬盘用于视频保存，视频保留时间不少于 30 天；
27）两个药业槽工艺时间到后有声光提示；
28）机台地脚做防腐处理：1.喷防腐漆，2.增加PP防护盒；
29）供液系统人工换桶时防止废液回流，加装收集桶；
30）机台具备漏液监测功能，如发生漏液报警时自动关闭排液功能；
31) Cassette搬运使用工装方式；
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