卓程微半导体设备项目在江苏昆山开工

6月20日，卓程微半导体设备（昆山）有限公司在江苏昆山巴城镇开工。

据介绍，项目计划总投资3亿元，总用地30亩，总建筑面积约3.4万平方米，主要从事晶圆单片式清洗机、全自动槽式清洗机、尾气处理设备等产品的生产、研发，广泛应用于半导体前道制程、先进封装、MEMS、平板显示等领域。项目建成投产后，将显著增强企业在半导体相关领域的产品力和竞争力，推动相关半导体设备的国产替代，助力企业加快打造成为半导体设备制造细分领域头部企业。

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