这家SiC企业也扩产!6英寸、6万片
来源 第三代半导体风向
昨天,“三代半风向”获得一份招标书,其中显示,河北将建一个6英寸碳化硅外延片生产基地,投资额约1.8亿元,年产能6万片。
碳化硅外延扩建年产能6万片
8月12日,河北普兴电子科技股份有限公司公布了“搬迁项目监理公开招标公告”,招标金额210万元。
公告提到,该项目将建设“6英寸碳化硅外延以及8英寸硅外延生产基地”,总建筑面积约为63915.23㎡,投资总额1.8亿元,项目已由河北石家庄鹿泉经开区批准建设。
另一份招标信息显示,普兴电子计划对现有碳化硅外延生产线进行升级改造,建设一条6英寸碳化硅外延片批量生产线,实现年产6英寸碳化硅外延片6万片的生产能力,将采购主要生产设备碳化硅外延炉15台及配套测试仪器等。
据介绍,普兴电子是中国电子科技集团第13研究所的控股公司,从1963年开始进行半导体硅基外延材料的技术研究,年产各种硅基外延片600多万片,是国内最大的硅基外延材料供应商。
在碳化硅方面,据介绍,2018年普兴电子就搭建了碳化硅外延生产和测试平台,2019年率先在河北省实现6英寸碳化硅外延片产业化,2020年开发了快速碳化硅外延生长工艺,单台设备产能提高20%以上。
备案信息显示,2020年普兴电子就在着手加快碳化硅外延产业化。
此前,普兴电子还打算介入碳化硅单晶生长领域,计划发展成为从碳化硅单晶生长、碳化硅外延片直至芯片加工的全产业链生产企业,例如2017年5月23日,普兴电子的“碳化硅单晶产业化项目”备案获得批复。
不过,据“三代半风向”了解,出于资源优化考虑,中电科集团对普兴的碳化硅单晶项目进行了调整,让普兴电子专注碳化硅外延,而碳化硅单晶和碳化硅芯片将由集团其他子公司专门负责。
中电科的全产业链布局
据“三代半风向”调研了解,中电科集团已经完成了碳化硅的全产业链布局,其相关子公司已经在设备、衬底、外延、器件等环节建树颇多。
碳化硅衬底方面,他们主要依托于山西烁科晶体。
据介绍,2018年,中电科就在山西签约布局碳化硅项目;2019年4月,中国电科(山西)碳化硅产业基地一期项目于开工建设,实施主体就是烁科晶体。2020年2月底,一期项目正式投产,300台设备同时启动,月产1200块碳化硅单晶。
据《山西日报》4月15日报道,2020年,山西烁科晶体碳化硅衬底年产能已达10万片,销售3万片以上。
中电科集团还有多个子公司涉及碳化硅器件领域,其中包括中电科13所。
2018年6月13日,中电科13所的“碳化硅电力电子器件芯片产业化项目”获得了石家庄高新区备案批复。
而碳化硅封装则是同辉电子负责。据介绍,同辉电子成立于2007年,与普兴电子同属于中电科13所控股企业。
2020年,同辉电子的“碳化硅封装线”项目已经竣工投产。在此之前,同辉电子还有多个碳化硅项目备案:
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