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单片湿法制程设备

刷片机

全自动刷片机主要用于6、8英寸衬底片及外延片的过程清洗,去除晶圆上残留的物理颗粒。设备主要由(浸泡)上料台模块、对中翻转模块、刷洗工艺腔体、下料台模块、可横向移动双臂机械手模块、供排液系统、排风系统、中央控制系统等组成。刷洗工艺腔体具备Brush刷洗、高压二流体清洗、氮气吹干、离心甩干等功能。减少人为因素对清洗过程的干扰,保证片间均匀性,满足晶圆表面颗粒度目标要求。


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