全自动籽晶刷洗机通过旋转式刷头及二流体，配合DIW可以有效去除晶圆上残留的物理颗粒，主要用于不同规格籽晶片的清洗。

✨ 可兼容6-12吋多规格晶圆

✨ 具备刷头自清洁功能

✨ 独立翻转模块，可实现晶圆正反面自动翻转并清洗

✨ 可实现多规格晶圆精准对中

✨ 优秀的清洗效果

✨ 多种安全检测，不易产生碎片