卧式晶圆甩干机是半导体制造中的关键清洗设备，专为实现晶圆的高效、快速干燥而设计。此干燥步骤对保障后续工艺质量和产品可靠性至关重要。其核心原理是利用高速旋转产生的离心力将晶圆表面的水分甩离。在甩干过程中，旋转动作在腔体内形成气流，引导外部空气从槽盖被吸入，经FFU（风机过滤单元）滤芯过滤净化后，最终由专用排气系统顺畅排出。为应对甩干时可能产生的静电积聚（易导致颗粒粘附），这类气流式甩干机通常还集成静电消除部件，以有效减少此类现象发生。