1. 工作原理

该设备主要由酸洗、纯水漂洗、超声漂洗等工艺组成，其工作原理是利用酸混合液对返工片等表面进行腐蚀，去除其表面的氮化硅、颗料杂质等。然后再经水洗，超声清洗等工序去除其表面残酸。设备电气控制部分关键部件均采用进口件，性能可靠，使用寿命长。为防止酸液泄露，设备底部设有接液盘、漏液报警装置。

2. 工作流程

生产主线为：石英加热槽1、QDR槽2、PVDF槽3、QDR槽4、NPP槽5、NPP槽6，QDR槽7,IPA干燥槽8，共8个制程工位。本设备电气控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及上部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位， ‌按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。

3. 产品优势

1) 高效产能：‌能够处理大量的返工片。‌

2) 低碎片率：‌具有先进的机械臂分配系统，‌有效避免药液交叉污染和反应超时，‌保证碎片率极低。‌

3) 自动化操作：‌设备具备自动化的操作系统，‌能够自动调节显影和定影温度，‌自动补充显影液和定影液，‌减少人工干预，‌提高生产效率。‌

4) 智能机器功能：‌集成智能机器功能，‌如能源消耗统计分析，‌确保资源的高效利用和成本的优化。‌

5) 兼容性：‌兼容MES和RFID功能，‌便于生产数据的追踪和管理。‌

6) 优化材料使用：‌所有与液体接触的材料都经过优化升级，‌避免材料杂质析出，‌保证清洗质量。

4. 清洗能力

8inch 1 cassette/Batch 25Pcs/cassette;12inch 1cassette/Batch 25 Pcs/cassette;

5. 产品特点

01）工艺说明: 自动传动，自动方式实现槽体间传送工件，手臂按照菜单选择流程作业，生产部人员选取菜单进行作业，这个过程全自动进行；
02）全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；
03）搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；
04）搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全； 
05）工艺槽设有花篮物理检测装置，防止压篮；
06）溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；
07）工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；
08）整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等，需润滑的零件必须密封处理；
09）整机采用PLC控制，触摸屏显示，清洗槽定温控制，过温保护及超(兆)声低液位保护；
10）整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；
11）整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；
12）机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮，设备两端各一个），并按照标准设置接地保护断路器；
13）整机前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，处设有漏液报警，前后区域均设水枪，确保漏液及时冲洗；
14）清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；
15）设计合理化的排风管路，使酸碱液挥发气体的污染最小化；
16）设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；
17）废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放；
18）设备内废气总管路可用维护区水枪清洗，清洗废液流入酸碱废液总管；
19）工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；
20）搬运机械手抓驱动部分为电机马达驱动完成动作并配有传感器实时监测,抓取部位设有防压框传感器,检测抓取成功与否；
21）搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置（光电传感器、机械传感器、机械装置等），以保护操作人员安全；
22)  设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；
23)  机台上料下料区各配水***2把；
24）机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报警装置）；
25）机台总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报警装置）；
26）工艺槽槽底倾斜式，便于排空；

6. 安装及售后

1) 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

2) 为用户工厂操作工提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

3) 无偿提供为期一年的技术支持与服务，一年后继续提供终身技术服务。在质保期内，提供7*24小时内电话支持服务，24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

4) 可提供随机备件、易损品及随机工具。