1. 工作流程

生产主线为：腐蚀槽1、冲水槽2、轻刻槽3、冲水槽4、上下料台，共4个清洗工位。右进右出设备。本设备电气控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的全自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上下料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。

2. 清洁能力

6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette；

3. 产品优势

1) 高效清洗：‌能够快速彻底地去除超薄片材料表面的污渍和微小颗粒，‌保证清洗质量。‌

2) 无死角清洗：‌能够实现360度无死角清洗，‌确保清洗效果均匀一致。‌

3) 适用于大批量生产：‌操作简单，‌性能稳定，‌适合大批量连续生产，‌提高生产效率。‌

4) 节能环保：‌采用压缩机制冷，‌高达93%的回收率，‌有效降低使用成本，‌同时提高产品的综合市场竞争力。‌

5) 智能化设计：‌具备产能等智能化计数功能，‌采用机械手操作、‌PLC控制，‌减轻员工劳动强度，‌减少人力资源，‌提高竞争优势。‌

6) 高效组合清洗：‌采用超声波清洗+喷淋清洗的高效率清洗组合，‌可有效去除微米单位的粒子，‌确保清洗效果。

4. 产品特点

1) 工艺说明: 自动传动，自动方式实现槽体间传送工件，手臂按照菜单选择流程作业，生产部人员选取菜单进行作业，这个过程全自动进行；

2) 全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；

3) 搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；

4) 搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全；

5) 溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；

6) 工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；

7) 整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等；

8) 整机采用PLC控制，触摸屏显示，清洗槽定温控制，过温保护及超(兆)声低液位保护；

9) 整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；

10) 整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；

11) 机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮，设备两端各一个），并按照标准设置接地保护断路器；

12) 整机前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，处设有漏液报警，前后区域均设水枪，确保漏液及时冲洗；

13) 清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；

14) 设计合理化的排风管路，使酸碱液挥发气体的污染最小化；

15) 设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；

16) 工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；

17) 软件具有防呆功能；

18) 搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置（光电传感器、机械传感器、机械装置等），以保护操作人员安全；

19)   设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；

20) 机台上下料区配水***2把；

21) 机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报警装置）；

22)   机台总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报警装置）；

23)  工艺槽槽底倾斜式，便于排空；

24) Cassette transfer time < 5sec；

25) 机台电器部分具备正压N2保护，防止腐蚀；

26) 具有作业记录功能，可以 USB 接口 U 盘调取，配置摄像头，并配置硬盘用于视频保存，视频保留时间不少于 30 天；

27) 两个药业槽工艺时间到后有声光提示；

28) 机台地脚做防腐处理：1.喷防腐漆，2.增加PP防护盒；

29) 供液系统人工换桶时防止废液回流，加装收集桶；

30) 机台具备漏液监测功能，如发生漏液报警时自动关闭排液功能；

31)  Cassette搬运使用工装方式；

5. 安装及售后

1) 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

2) 为用户工厂操作工提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

3) 无偿提供为期一年的技术支持与服务，一年后继续提供终身技术服务。在质保期内，提供7*24小时内电话支持服务，24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

4) 可提供随机备件、易损品及随机工具。