1. 工作原理

‌全自动Slug腐蚀机通过高技术的BOE腐蚀机，‌利用注入的阳离子与光刻胶中的碳形成强化学键，‌使光刻胶表面高度交联，‌形成一层高度致密、‌耐腐蚀的碳化硬壳，‌从而大大增加光刻胶的去除效率。

2. 工作流程

‌生产线包括上料台、‌MAE酸槽、‌QDR槽等多个制程工位，‌通过全自动控制系统，‌操作者只需将清洗花篮放置于上料工位上，‌由PLC控制的机械手将花篮输送到各个工位，‌按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。‌这种全自动化的操作不仅提高了工作效率，‌还保证了处理的质量和一致性。‌

3. 清洗能力

8（12）inch   1 cassette / Batch     25 Pcs/cassette；

4. 产品优势

1) 自动化程度高：‌全自动Slug腐蚀机采用人机界面（‌触摸屏）‌加PLC控制，‌操作者只需将清洗花篮放置于上料工位上，‌然后由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，‌按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。‌这种全自动化的操作大大减少了人工干预，‌提高了生产效率。‌

2) 操作简便：‌设备的用户界面非常简单，‌方便用户进行程序设定和操作。‌这降低了操作难度，‌即使是没有专业背景的操作人员也能快速上手，‌减少了培训成本和时间。‌

3) 生产效率高：‌通过高压喷淋及被蚀刻板直线运动形成连续不间断进料状态，‌加大了喷淋与被蚀刻金属板的有效面积和蚀刻均匀程度，‌无论在蚀刻效果、‌速度和改善操作者的环境及方便程度，‌都优于泼溅式蚀刻。‌这种设计显著提高了生产效率。‌

4) 生产环境改善：‌设备电器控制部分关键件均采用进口件，‌性能可靠，‌使用寿命长。‌背部设有吸风口，‌为防止污染空气，‌用户需外接风管抽风。‌这样的设计不仅提高了工作环境的安全性，‌还有效地减少了环境污染。‌

5) 可靠的性能：‌易腐蚀部件均有罩子保护，防止药液腐蚀。‌具有完备的自诊断功能，‌包括预警信息、‌日常维护提醒和自动安全关机等，‌确保了设备的稳定运行和用户的安全。‌

5. 产品特点

1) 工艺说明: 自动传动，自动方式实现槽体间传送工件，手臂按照菜单选择流程作业，生产部人员选取菜单进行作业，这个过程全自动进行；

2) 全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；

3) 搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；

4) 搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全；

5) 溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；

6) 工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；

7) 整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等，需润滑的零件必须密封处理；

8) 整机采用PLC控制，触摸屏显示，清洗槽定温控制，过温保护及超(兆)声低液位保护；

9) 整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；

10) 整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；

11) 机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮，设备两端各一个），并按照标准设置接地保护断路器；

12) 整机前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，处设有漏液报警，前后区域均设水枪，确保漏液及时冲洗；

13) 清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；

14) 设计合理化的排风管路，使酸碱液挥发气体的污染最小化；

15) 设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；

16) 工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；

17) 搬运机械手抓驱动部分为电机马达驱动完成动作并配有传感器实时监测,抓取部位设有防压框传感器,检测抓取成功与否；

18) 搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置（光电传感器、机械传感器、机械装置等），以保护操作人员安全；

19)  设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；

20) 机台上料下料区各配水***2把；

21) 机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报警装置）；

22) 机台总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报警装置）；

23) 工艺槽槽底倾斜式，便于排空；

6. 安装及售后

1) 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

2) 为用户工厂操作工提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

3) 无偿提供为期一年的技术支持与服务，一年后继续提供终身技术服务。在质保期内，提供7*24小时内电话支持服务，24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

4) 可提供随机备件、易损品及随机工具。