1. 适用场景

研磨、刻蚀、返工后等集成电路制造工艺的最终清洗

2. 工作原理

1) 自动槽式清洗机的工作原理主要是利用超声波在液体中的空化作用，‌通过高频振动产生强大的冲击波，‌对物体表面进行深度清洗。‌

2) 全自动槽式清洗机，‌尤其是超声波清洗机，‌利用超声波在液体中产生的空化作用，‌这种作用能够在液体内部形成微小的气泡。‌当这些气泡在瞬间破裂时，‌会产生强大的冲击力，‌对物体表面进行深度清洁。‌此外，‌超声波的振动还能加速清洗液的流动，‌对物体表面进行全面的冲洗，‌从而达到高效清洗的目的。‌这种清洗方式相比传统方法，‌具有清洗效果好、‌效率高、‌环保等优点。‌

3) 全自动槽式清洗机通常由超声波发生器、‌换能器、‌清洗槽、‌清洗液循环系统等部分组成。‌其中，‌双槽设计是其最大的特点，‌可以同时对不同种类的物品进行清洗，‌进一步提高工作效率。‌此外，‌全自动槽式清洗机还采用了全密封结构，‌通过高效空气过滤器吹入洁净的空气，‌同时采用细管路抽风，‌使清洗机相对室内环境形成正压，‌防止外界灰尘等杂质进入，‌确保清洗质量。‌

4) 全自动槽式清洗机的控制方式也实现了高度自动化，‌通过可编程序控制器(PLC)与触摸屏控制，‌实现了从进料到出料的全程自动化操作。‌操作人员可以通过触摸屏方便地输入所需的工艺程序，‌并实时监控设备运行状态，‌保证了产品清洗质量的稳定性和操作的便捷性

3. 产品优势
1、设备实现自动作业，自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案
2、设备可依据客户工艺需求设计对应模块；主要由上下料口、机械臂、SPM/SC1/SC2等组成；
3、SC1槽可根据客户要求定制不同频率的超声/兆声
4、具备IPA Dry、Spin Dry选择
5、可支持多批次清洗提升产量
6、化学槽支持自动换液、补液及定时/定量补液，自动洗槽功能
7、可根据不同厂务要求制定不同种类的排放方案
8、良好的设备稳定性和可靠性；
9、有效控制金属、材料及微粒子的交叉污染
10、软件和硬件的模块化设计
11、软硬件预留MES通讯接口
12、实时记录生产数据，多种数据分析功能
13、选配SECS/GEM接口；
14、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能

4. 设备特点

Ø 视窗为双层设计，操作安全

Ø 设备占地面积小

Ø 喷淋装置喷淋均匀                                    

Ø 加热材料高纯无污染，in-line加热

Ø 有限控制金属、材料及微粒子的交叉                           

Ø 温度自动校准

Ø 软硬件互锁装置保证操作人员人身安全                          

Ø 支持SMIF自动传输

Ø 实时记录生产数据，多种数据分析功能                          

Ø 软件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能

Ø 工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速                           

Ø 优化配管设置，节约DIW消耗量

Ø 药液浓度实时监控系统                                        

Ø 多工艺数据库，可供用户适用和储存

Ø 槽体流场控制技术                                           

Ø 高效药液回收系统

Ø Maragoni Dryer 低破片率，高洁净度                         

Ø 较洁净药液回收利用，节约药液使用

Ø 易燃化学品安全稳定加热系统                                 

Ø 易燃化学品搭载消防系统及切断排风系统，符合消防安全

Ø 自主知识产权的软件系统                                      

Ø 系统自动排程，多工位并发处理，高效率运行

Ø 拥有多项软件著作权                                         

Ø 工艺预置，过程数据记录和生产管理

Ø PC上位机和PLC触摸屏的控制和人机交互界面

5. 安装及售后

1） 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

2） 为用户工厂操作工提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

3） 无偿提供为期一年的技术支持与服务，一年后继续提供终身技术服务。在质保期内，提供7*24小时内电话支持服务，24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

4） 可提供随机备件、易损品及随机工具。