喷淋装置，喷淋均匀无死角

加热材料高纯无污染in-line加热

控制金属、材料及微粒子的交叉

温度自动校准

软硬件互锁装置保证操作人员人身安全

支持SMIF自动传输

实时记录生产数据，多种数据分析功能

软件支持GEM/SECS接口，提供EAP MES等功能

工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速

优化配管设置，节约DIW消耗量

药液浓度实时监控系统

多工艺数据库，可供用户使用和存储

槽体流畅控制技术

药液回收系统

Marangoni   Dryer 低破片率，高洁净度

较洁净药液回收利用，节约药液使用

易燃化学品搭载消防系统及切断排风系统 符合消防安全

易燃化学品安全稳定加热系统

自主知识产权的软件系统

系统自动排程，多工位并发处理，提供运行运行效率

拥有多项软件著作权

工艺预置，过程数据记录和生产管理

PC上位机和PLC触摸屏的控制和人机交互界面