在化工、半导体、电镀等高精密领域,液体输送的安全性与可靠性直接关乎生产效率和成本。日本IWAKI(易威奇)在北京华林嘉业科技有限公司(CGB)北方制造基地河北省廊坊市香河工厂培训圆满完成,并正式授权CGB作为IWAKI品牌在中国半导体行业重要的合作伙伴,为您带来原厂正品与本土化服务的一站式解决方案!
交流双方
IWAKI公司
日本(易威奇)IWAKI具有近70年历史的化工泵专业制造商,是世界首家生产合成材料的磁力驱动离心泵的企业。IWAKI生产的化工泵种类齐全,从1956年创立开始,不断研制推出多系列宽用途的新产品,至今已有500多个标准型号,从结构轻巧精密的OEM(设备配套)产品,到全球高级别的「氟材质磁驱离心泵」、「定量添液泵」和「水质控制器」,易威奇化工泵广泛应用于化工、石化、环保、电镀、印刷电路板、造纸、及半导体等行业。
风囊泵——气动驱动的安全卫士
风囊泵(Bellow Pump)是以PTFE为基材的泵浦,通过压缩空气驱动柔性风囊(类似气囊)的收缩与膨胀来输送流体。其核心功能为:
✨ 无机械密封:无动态密封结构,杜绝泄漏,适合危险化学品输送。
✨ 耐腐性:风囊为PTFE,适合强碱、强酸介质,适应半导体苛刻化学环境。
半导体湿式蚀刻工艺是一种利用强酸、强碱等腐蚀性液体化学物质对晶圆表面进行选择性材料去除的技术。其中,高纯度蚀刻液的输送是关键环节,通常需要使用耐腐蚀性极强的PTFE材质泵浦。
由于半导体制造对流体纯净度要求极高,而PTFE材料纯度及风囊泵制作工艺精度直接影响泵浦的性能和可靠性。
磁力泵(Magnetic Drive Pump)利用磁力耦合原理驱动叶轮,实现零泄漏、免维护的流体输送。IWAKI作为磁力泵技术先驱,其电磁泵以高效、静音、长寿命著称。
✨ 100%无泄漏:取消机械密封,杜绝介质外泄。
✨ 超长寿命:无接触传动,磨损极低,适合连续运行。
✨ 精准控制:流量稳定,适用于精密加药、计量场景。
✨ 低能耗:高效叶轮设计,节能环保。
计量泵(Metering Pump)是一种能够精确控制流量的容积式泵,主要用于需要高精度定量输送的工业场景。其核心特点是可调节流量、高重复精度和稳定可靠性,广泛应用于化工、制药、半导体、环保等领域。
北京华林嘉业科技有限公司(CGB)
作为国内领先的专业半导体设备制造商,CGB专注于晶圆清洗、干燥及表面处理技术的研发与生产,公司研发总部位于北京亦庄经济技术开发区,拥有河北廊坊北方生产基地和无锡华东区域服务中心。同时在日本设有研发中心,专注于产品研发和海外市场服务。
产品应用领域包含:集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)、硅材料(Si)、化合物半导体(Compound Semiconductor)、光通信器件(Optical Communication Devices)、功率器件(Power Devices)、半导体照明(LED)、先进封装(Advanced Packaging)、光伏电池(Photovoltaic)、平板显示(FPD)和科研(R&D)等。
作为国内深耕半导体湿法制程设备、全自动晶圆倒角机、全自动刷片机、干燥机、化学品供给系统等设备制造商,CGB始终严格按照国际质量管理体系标准进行全方位和全过程的质量控制,同时注重持续改进及创新。
核心优势包括:
✨ 核心技术:在RCA清洗、Marangoni干燥、晶圆倒角机等领域拥有多项专利
✨ 定制化能力:可根据客户需求调整工艺参数,适配Si、SiC、GaN、Ga₂O₃等先进半导体材料
✨ 稳定量产验证:设备已在国内多家头部晶圆厂、第三代半导体企业稳定运行
公司设备核心优势
1.碳化硅、多晶硅、硅基等晶圆的干燥处理方面,我公司自主研发的Marangoni干燥机有其独特的技术优势。
➻ 多尺寸支持
Marangoni干燥机支持4-12英寸晶圆,厚度110-1400μm,适应多样化需求。它能够满足不同尺寸晶圆的干燥需求,提高生产灵活性。
➻ 节能高效
Marangoni干燥机无需加热IPA,采用N2加热,自动调温,节能高效。它通过氮气加热技术,实现快速稳定的干燥过程,降低能耗。
➻ 高洁净度
Marangoni干燥机能够实现晶圆表面洁净度高,无水印,金属污染≤1E10 atoms。它采用高效的干燥方式,避免水渍残留和金属污染,确保晶圆表面质量。
➻ 紧凑设计
Marangoni干燥机占地面积小,即可单机使用,也可以集成到全自动清洗设备当中使用。
2.全自动有机清洗机针对油污、脂渍、金属加工液等有机污染物,有机清洗剂的溶解力显著高于水性清洗剂,能快速分解顽固油污。结合超声波空化效应(频率40kHz-80kHz),实现半导体晶圆的表面处理。
通过有机溶剂(ACE、NMP、EKC、IPA)与物理清洗(喷淋、超声波)结合,降低晶圆表面缺陷率,提升芯片良品率。
前置式全自动机械臂,工艺过程中无需人员参与,保证晶圆清洗的一致性。
配备消防系统
➻ 毫秒级探测:在设备内部高风险区(溶剂槽、管路区等)部署温度/火焰/烟雾多传感器,实现火灾萌芽期精准识别。
➻ 定向灭火:针对溶剂特性选用二氧化碳灭火剂,通过喷嘴直接喷射至火源,10秒内完成初期火势压制。
3.全自动晶圆倒角机采用日本先进工艺,主要用于SiC等化合物半导体晶片、Si晶片等的外圆倒角,利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。具备两个加工轴,可独立控制,也可单轴单独加工。与单轴设备相比,双轴可将加工效率提高70%。(仅供参考)
我们非常荣幸地宣布,CGB 是 日本IWAKI 公司正式授权的中国品牌半导体设备制造商。这意味着:
➻ 正品保障: CGB为您提供“易威奇”品牌原装正品的半导体行业用泵及配件产品。
➻ 本地化服务: 我们立足中国,拥有完善的销售网络、专业的工程师团队和高效的仓储物流,为您提供快速响应、便捷采购、专业选型、技术支持和及时的原厂备件供应。
➻ 应用专家: 深刻理解中国各行业(化工、电镀、PCB、半导体、环保等)的工况需求,为您量身定制安全、高效、经济的输送解决方案。
立即行动!
如果您正在为腐蚀性、危险性液体的安全输送问题而困扰,如果您追求设备的可靠性和长寿命,IWAKI风囊泵将是您理想的选择。
欢迎联系CGB! 我们的专业团队随时准备为您提供产品咨询、选型建议和技术支持,帮助您找到最适合的IWAKI风囊泵解决方案。
CGB——源自日本IWAKI的正品保障,安全输送的专家伙伴!